微細形状測定機：段差計(小坂研究所 ET200)の一般開放について

2024.3.1よりクリーンルーム内の共用装置として微細形状測定機：段差計(小坂研究所 ET200)を一般開放いたします。
ぜひ、ご活用くださいませ。

[GFC総合システム：AP-200088]
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/instruments/1579

備考：マテリアル先端リサーチインフラ事業装置（ARIM登録番号：HK-630）
概要・性能：二次元表面粗さ解析及び段差を測定する装置  

仕様：
最大サンプルサイズ Φ160×厚さ52mm
再現性 1σ 0.3nm以内
測定範囲 Z：600μm X：100mm
分解能 Z：0.1nm X：0.1μm 測定力 10μN～500μN