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≪終了いたしました≫第三回NIMS-ARIM担当領域セミナー「蒸気二流体洗浄技術」を開催いたします
【セミナー概要】
蒸気二流体洗浄は、薬液を使用せずに蒸気と純水のみで効果的な洗浄を行うことができる革新的な技術です。パーティクル除去だけでなく、レジスト剥離、反応生成物の除去、CMP後の洗浄、リフトオフ、親水化処理など、様々な用途で使用できます。本セミナーでは、NIMS微細加工ユニットが新たに導入した「蒸気二流体洗浄装置」の技術概要と活用事例について、専門家・メーカーを交えて紹介いたします。詳細はこちらをご覧ください。
【開催日時】2025年10月20日(月)15:00～16:00（Teamsウェビナー）
【参加登録】下記URLから事前に参加登録をお願いします
【プログラム】
15：00～15：30 「蒸気2流体洗浄：洗浄のメカニズム」 東京科学大学 環境・社会理工学院 教授 因幡 和晃
15：30～15：45 「蒸気2流体洗浄機の紹介」 HUGパワー株式会社 代表取締役 阿部 文彦
15：45～16：00 「蒸気二流体洗浄装置のNIMS活用事例」 NIMS微細加工ユニット 主任エンジニア 渡辺 英一郎