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パルスレーザー堆積装置 Pulse Laser Deposition system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-615 GFC装置番号：AP-200060
- メーカー名（英語表記）
- パスカル(Pascal)
- 型番
- PAC-LMBE
- 装置の特長及び仕様
レーザー光源：248nm
基板サイズ：
成膜材料：TiO2,STOなどデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-615_パルスレーザー堆積
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1417
