共用装置

真空紫外露光装置 Vacuum ultraviolet light exposure system

機器ID

ARIM装置番号：HK-627　GFC装置番号：AP-100058

メーカー名（英語表記）

エヌ工房(N ceator)

型番

PC-01-H

装置の特長及び仕様

試料サイズ：最大1インチ

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/58