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膜厚・粒度測定
エリプソメーター
エリプソメータ Ellipsometry
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-706 GFC装置番号：AP-200058
- メーカー名（英語表記）
- 日本分光(JASCO)
- 型番
- M-500S
- 装置の特長及び仕様
Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1415
