共用装置
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状態分析・分光法
オージェ電子分光
オージェ電子分光装置 Auger electron spectroscope
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-202 GFC装置番号：AP-200052
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JAMP-9500F
- 装置の特長及び仕様
加速電圧:0.5~30kV、プローブ電流:10⁻¹¹～2×10⁻⁷A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging光電子分光分析研究室 xpslab[at]eng.hokudai.ac.jpへお問い合わせください。
