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リソグラフィ
光露光（マスクアライナ）
両面マスクアライナ Double-side alignment Mask aligner
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-702 GFC装置番号：AP-200020
- メーカー名（英語表記）
- ズースマイクロテック(SUSS)
- 型番
- MA-6
- 装置の特長及び仕様
両面、露光精度0.6ミクロン
試料サイズ：最大6インチ
基板サイズ：不定形小片～150mm角データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-702_両面マスクアライナ
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1390
マスクアライナ Mask aligner
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-606 GFC装置番号：AP-200003
- メーカー名（英語表記）
- ミカサ(MIKASA)
- 型番
- MA-20
- 装置の特長及び仕様
コンタクト露光
試料サイズ：最大4インチ
マスクサイズ：最大5インチデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-606_マスクアライナ
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1374
