共用装置
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膜厚・粒度測定
段差計
微細形状測定機(段差計) Microfigure Measuring Instrument
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-630 GFC装置番号：AP-200088
- メーカー名（英語表記）
- 株式会社 小坂研究所(Kosaka Laboratory Ltd.)
- 型番
- ET200A
- 装置の特長及び仕様
最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲 Z：600μm X：100mm
分解能Z：0.1nm X：0.1μm
測定力10μN～500μN装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/instruments/1579
