共用装置
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膜厚・粒度測定
段差計
微細形状測定機(段差計) Microfigure Measuring Instrument
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-630 GFC装置番号：AP-200088
- メーカー名（英語表記）
- 株式会社 小坂研究所(Kosaka Laboratory Ltd.)
- 型番
- ET200A
- 装置の特長及び仕様
最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲 Z：600μm X：100mm
分解能Z：0.1nm X：0.1μm
測定力10μN～500μN装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/instruments/1579
エリプソメーター
エリプソメータ Ellipsometry
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-706 GFC装置番号：AP-200058
- メーカー名（英語表記）
- 日本分光(JASCO)
- 型番
- M-500S
- 装置の特長及び仕様
Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1415
膜厚測定
光学干渉式膜厚計 Film thickness measurement instruments
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-626 GFC装置番号：AP-200077
- メーカー名（英語表記）
- フィルメトリクス(Filmetrics)
- 型番
- F20-UV
- 装置の特長及び仕様
膜厚測定範囲：1nm – 40µm
測定波長域：190-1100nm装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1453
