共用装置

光学干渉式膜厚計 Film thickness measurement instruments

機器ID

ARIM装置番号：HK-626　GFC装置番号：AP-200077

メーカー名（英語表記）

フィルメトリクス(Filmetrics)

型番

F20-UV

装置の特長及び仕様

膜厚測定範囲：1nm – 40µm
測定波長域：190-1100nm

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1453