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成膜装置
蒸着(抵抗加熱、電子線)
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-703 GFC装置番号：AP-200027
- メーカー名（英語表記）
- アルバック(Ujlvac)
- 型番
- EBX-8C
- 装置の特長及び仕様
電子線、抵抗加熱方式
蒸着源：EB４元・抵抗加熱1元
蒸着材料：Si、Al、Fe、 Mo、Auデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-703_EB加熱・抵抗加熱蒸着
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1396
EB蒸着装置 EB vacuume evaporation system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-607 GFC装置番号：AP-200074
- メーカー名（英語表記）
- エイコー(Eiko)
- 型番
- EB-580S
- 装置の特長及び仕様
蒸着源:Au,Ti,Al,Cu,Nb
基板加熱可(600℃程度まで)
水晶振動式膜厚計データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-607_EB蒸着
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1450
真空蒸着装置 Vacuume evaporation system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-608 GFC装置番号：AP-200005
- メーカー名（英語表記）
- サンバック(SANVAC)
- 型番
- ED-1500R
- 装置の特長及び仕様
蒸着源:抵抗加熱3元、EB3元
基板加熱可
水晶振動式膜厚計データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-608_真空蒸着装置
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1376
