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微小加工装置
集束イオンビーム（FIB）
集束イオンビーム加工観察装置
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-105 GFC装置番号 ：AP-200081
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 装置の特長及び仕様
イオン源：Ga液体金属イオン源
加速電圧：5～30kV(5kVステップ)
倍率：×50(視野探し)、×150～300,000
像分解能：6nm(30kV時)
稼働絞り5段(モーター駆動)
イオンビーム加工形状：矩形、ライン、スポット
試料ステージ：TEM試料サイドエントリー、ゴニオメータステージ超高圧電子顕微鏡室 denken[at]eng.hokudai.ac.jpへお問い合わせください。
集束イオンビーム加工装置 FIB
- 機器ID
- HK-105
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 装置の特長及び仕様
・イオン加速電圧：5 ～ 30 kV
・倍率：150（50）～300,000
・真空系：ターボ分子ポンプ（TMP）、ロータリーポンプ（RP）
・チップオンホルダー
・バルクホルダー
・ピックアップ装置
・遠隔観察装置超高圧電子顕微鏡室 denken[at]eng.hokudai.ac.jpへお問い合わせください。
集束イオンビーム加工・観察装置 Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM)
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-304 GFC装置番号：AP-200046
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JIB-4600F/HKD
- 装置の特長及び仕様
加速電圧：1～30kV
分析機能：EDS、EBSD、3D観察
像分解能：5nm（30kV）装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1407
集束イオンビーム加工装置 Focused Ion Beam system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-403 GFC装置番号：AP-200042
- メーカー名（英語表記）
- 日立ハイテク(Hitachi High-Tech)
- 型番
- FB-2100
- 装置の特長及び仕様
イオン加速電圧：5 ～ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1404
