共用装置

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量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置

機器ID
ARIM装置番号：HK-107　GFC装置番号：AP-200085
メーカー名（英語表記）
日本電子(JEOL)
型番
JEM-ARM200F NEOARM
装置の特長及び仕様

加速電圧：200 kV, 80kV
分解能：STEM HAADF像 70pm(200kV), 100pm(80kV),
TEM情報限界 100pm(200kV), 110pm(80kV),
電子銃：冷陰極電解放出形電子銃
オプション：EDS、加熱・バイアス印加TEM二軸傾斜ホルダー

超高圧電子顕微鏡室 denken[at]eng.hokudai.ac.jpへお問い合わせください。

集束イオンビーム加工観察装置

機器ID
ARIM装置番号：HK-105　GFC装置番号 ：AP-200081
メーカー名（英語表記）
日本電子(JEOL)
型番
JEM-9320FIB
装置の特長及び仕様

イオン源：Ga液体金属イオン源
加速電圧：5～30kV(5kVステップ)
倍率：×50(視野探し)、×150～300,000
像分解能：6nm(30kV時)
稼働絞り5段(モーター駆動)
イオンビーム加工形状：矩形、ライン、スポット
試料ステージ：TEM試料サイドエントリー、ゴニオメータステージ

超高圧電子顕微鏡室 denken[at]eng.hokudai.ac.jpへお問い合わせください。

ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 Double Cs-corrected scanning transmission electron microscope

機器ID
ARIM登録番号：HK-101　GFC装置番号：AP-200061
メーカー名（英語表記）
日本FEI(FEI)
型番
Titan3 G2 60-300
装置の特長及び仕様

・加速電圧：60kV-300kV
・TEM分解能：0.07nm、STEM分解能：0.07nm
・X-FEG電子銃
・モノクロメーター搭載
・照射系球面収差補正器
・結像系球面収差補正器
・Super-X EDS検出器
・Gatan GIF QuantumER分光器
・分析試料ホルダー、トモグラフィー試料ホルダー
・遠隔観察
・遠隔オペレーション

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1418

高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 Field emission electron microscope

機器ID
ARIM装置番号：HK-625　GFC装置番号：AP-200017
メーカー名（英語表記）
日本電子(JEOL)
型番
JSM-6700FT
装置の特長及び仕様

加速電圧：5-30kV
EDS機能
試料サイズ：小片～25mm角

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1387

電子ビーム描画装置(30kV) Electron-beam lithography system(30kV)

機器ID
ARIM装置番号：HK-701　GFC装置番号：AP-200018
メーカー名（英語表記）
エリオニクス(ELIONIX)
型番
ELS-3700
装置の特長及び仕様

電子銃エミッター：LaB6
加速電圧：1～30kV
最小線幅：100nm
試料サイズ：最大4インチ
円弧スキャン可

データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-701_電子ビーム描画(30kV)

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1388