共用装置
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光学干渉式膜厚計 Film thickness measurement instruments
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-626 GFC装置番号：AP-200077
- メーカー名（英語表記）
- フィルメトリクス(Filmetrics)
- 型番
- F20-UV
- 装置の特長及び仕様
膜厚測定範囲：1nm – 40µm
測定波長域：190-1100nm装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1453
真空紫外露光装置 Vacuum ultraviolet light exposure system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-627 GFC装置番号：AP-100058
- メーカー名（英語表記）
- エヌ工房(N ceator)
- 型番
- PC-01-H
- 装置の特長及び仕様
試料サイズ：最大1インチ
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/58
スピンコーター Spin coater
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-707
- メーカー名（英語表記）
- ミカサ(MIKASA)
- 型番
- MS-A150
- 装置の特長及び仕様
試料サイズ：最大4インチ
回転数：0-4000rpm
エリプソメータ Ellipsometry
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-706 GFC装置番号：AP-200058
- メーカー名（英語表記）
- 日本分光(JASCO)
- 型番
- M-500S
- 装置の特長及び仕様
Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1415
ダイシングソー Dicing Saw
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-705 GFC装置番号：AP-200069
- メーカー名（英語表記）
- ディスコ(DISCO)
- 型番
- DAD322
- 装置の特長及び仕様
セミオートマチック
切削可能範囲(x,y)：150mm
最大ストローク(z)：32mm装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1426
