共用装置
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NLDドライエッチング装置 NLD Dry Etching System
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-622 GFC装置番号：AP-200014
- メーカー名（英語表記）
- アルバック(Ulvac)
- 型番
- NLD-500
- 装置の特長及び仕様
使用ガス：SF6、CF4、CHF3、Ar、O2、C3F8
試料サイズ：最大4インチデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-622_NLDドライエッチング
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1385
反応性イオンエッチング装置 Reactive ion Etching Systems
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-621 GFC装置番号：AP-200013
- メーカー名（英語表記）
- サムコ(samco)
- 型番
- RIE-10NRV
- 装置の特長及び仕様
使用ガス：CF4、Ar、O2、CHF3
試料サイズ：最大8インチデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-621_反応性イオンエッチング
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1384
ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） ICP-RIE Etching Systems(F)
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-620 GFC装置番号：AP-200012
- メーカー名（英語表記）
- サムコ(samco)
- 型番
- RIE-101iPH
- 装置の特長及び仕様
使用ガス：SF6,C4F8、CF4、Ar、O2、CHF3、C3F8
試料サイズ：最大４インチデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-620_ICP高密度プラズマエッチング（フッ素）
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1383
光学干渉式膜厚計 Film thickness measurement instruments
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-626 GFC装置番号：AP-200077
- メーカー名（英語表記）
- フィルメトリクス(Filmetrics)
- 型番
- F20-UV
- 装置の特長及び仕様
膜厚測定範囲：1nm – 40µm
測定波長域：190-1100nm装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1453
真空紫外露光装置 Vacuum ultraviolet light exposure system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-627 GFC装置番号：AP-100058
- メーカー名（英語表記）
- エヌ工房(N ceator)
- 型番
- PC-01-H
- 装置の特長及び仕様
試料サイズ：最大1インチ
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/58
