共用装置

集束イオンビーム加工・観察装置 Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM)

機器ID
ARIM装置番号:HK-304 GFC装置番号:AP-200046
メーカー名(英語表記)
日本電子(JEOL)
型番
JIB-4600F/HKD
装置の特長及び仕様

加速電圧:1~30kV
分析機能:EDS、EBSD、3D観察
像分解能:5nm(30kV)

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1407

収差補正走査型透過電子顕微鏡 Cs-corrected scanning transmission electron microscope

機器ID
ARIM装置番号:HK-401 GFC装置番号:AP-200062
メーカー名(英語表記)
日本電子(JEOL)
型番
JEM-ARM200F
装置の特長及び仕様

加速電圧:80kV,200kV
ColdFEG
EDS,EELS
大気非暴露・冷却試料ホルダー
遠隔観察

 

装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。

https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1419

走査型透過電子顕微鏡 Scanning transmission electron microscope

機器ID
ARIM装置番号:HK-402 GFC装置番号:AP-200041
メーカー名(英語表記)
日立ハイテク(Hitachi High-Tech)
型番
HD-2000
装置の特長及び仕様

加速電圧:200kV
冷陰極電界放出電子銃
分析機能:EDS、EELS

 

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集束イオンビーム加工装置 Focused Ion Beam system

機器ID
ARIM装置番号:HK-403 GFC装置番号:AP-200042
メーカー名(英語表記)
日立ハイテク(Hitachi High-Tech)
型番
FB-2100
装置の特長及び仕様

イオン加速電圧:5 ~ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能

 

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 High resolution Field-emission scanning electron microscope

機器ID
ARIM装置番号:HK-404 GFC装置番号:AP-200071
メーカー名(英語表記)
日立ハイテク(Hitachi High-Tech)
型番
Regulus8230
装置の特長及び仕様

加速電圧:0.5~30kV
分析機能:EDS
STEM機能
試料サイズ:6インチまで
遠隔画面共有

 

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