共用装置
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コンパクトスパッタ装置 Compact Sputter
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-610 GFC装置番号：AP-200066
- メーカー名（英語表記）
- アルバック(Ulvac)
- 型番
- ACS-4000-C3-HS
- 装置の特長及び仕様
カソード4元（DC3元、RF1元）
成膜材料：SiO2、Au,Cr、Mo等
基板サイズ：10mm～4インチ（リフトオフ仕様では25mm角まで）
基板加熱機構有り（～550℃）データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-610_Compact_sputter_PDL
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1423
精密イオン研磨装置 Precision ion polishing system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-407 GFC装置番号：AP-200079
- メーカー名（英語表記）
- ガタン(Gatan)
- 型番
- PIPSII
- 装置の特長及び仕様
イオン加速電圧：1 ～ 6 kV
イオン入射角：最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1519
X線光電子分光装置 X-ray photoelectron spectrometer
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-406 GFC装置番号：AP-200082
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JPS-9200
- 装置の特長及び仕様
標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV（モノクロX線源）
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30µmφ～3㎜φ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20㎜×50㎜装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1550
時間分解収差補正光電子顕微鏡システム Time-resolved photoelectron emission microscope
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-405 GFC装置番号：AP-200056
- メーカー名（英語表記）
- エルミテック(Elmitec)
- 型番
- AC-PEEMIII
- 装置の特長及び仕様
空間分解能：4nm以下
時間分解能：10fs以下
LEEM機能装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1413
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 High resolution Field-emission scanning electron microscope
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-404 GFC装置番号：AP-200071
- メーカー名（英語表記）
- 日立ハイテク(Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 装置の特長及び仕様
加速電圧：0.5～30kV
分析機能：EDS
STEM機能
試料サイズ：6インチまで
遠隔画面共有装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1447
