共用装置
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ヘリコンスパッタリング装置 Helicon sputtering system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-609 GFC装置番号：AP-200008
- メーカー名（英語表記）
- アルバック(Ulvac)
- 型番
- MPS-4000C1/HC1
- 装置の特長及び仕様
カソード：3元（マグネトロン4インチ、ヘリコンDC2インチ、ヘリコンRF2インチ）
成膜材料：Au,Cr,Ti
試料サイズ：最大4インチデータご提供用のエクセルファイルはこちらHK-609_ヘリコンスパッタ
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1379
真空蒸着装置 Vacuume evaporation system
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-608 GFC装置番号：AP-200005
- メーカー名（英語表記）
- サンバック(SANVAC)
- 型番
- ED-1500R
- 装置の特長及び仕様
蒸着源:抵抗加熱3元、EB3元
基板加熱可
水晶振動式膜厚計データご提供用のエクセルファイルはこちらHK-608_真空蒸着装置
装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1376
電界放出形走査電子顕微鏡 Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM)
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-302 GFC装置番号：AP-200034
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JSM-6500F
- 装置の特長及び仕様
加速電圧：1kV～30kV
分析機能：EDS, EBSD装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1399
X線光電子分光装置 X-ray photoelectron spectrometer
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-406 GFC装置番号：AP-200082
- メーカー名（英語表記）
- 日本電子(JEOL)
- 型番
- JPS-9200
- 装置の特長及び仕様
標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV（モノクロX線源）
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30µmφ～3㎜φ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20㎜×50㎜装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1550
時間分解収差補正光電子顕微鏡システム Time-resolved photoelectron emission microscope
- 機器ID
- ARIM装置番号：HK-405 GFC装置番号：AP-200056
- メーカー名（英語表記）
- エルミテック(Elmitec)
- 型番
- AC-PEEMIII
- 装置の特長及び仕様
空間分解能：4nm以下
時間分解能：10fs以下
LEEM機能装置のお問い合わせ・ご予約は GFC総合システムより承っております。
https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/item/show/apparatus_list/1413
